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共聚焦拉曼显微镜·原子力显微镜和扫描近场光学显微镜

发布于:2023/8/14 15:07:22

内容简介:

  内容导读

  压电陶瓷扫描台在试片定位过程中起着非常关键的作用。扫描台沿扫描平面两个轴的设计行程为100和200 µm、沿Z轴方向的行程为30 µm,位置分辨率高于2 nm。 此外,扫描台可利用电容式传感器实现主动引导,从而提高轨迹高精度:传感器将检测沿运动方向垂直轴的偏差。 扫描台可实时检测并主动补偿运动中的无用串扰,并保证相应数字控制电路以高频率实现所需控制,这是精准控制扫描器位置值和记录照相机的关键所在。

  关于PI

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